Cur síos

Supercritical wafer cleaning technology equipment

De réir mar a leanann nóid teicneolaíochta leathsheoltóra ar aghaidh go dtí 7nm, 5nm, agus méideanna níos lú, tá dúshláin gan fasach ag baint le teicneolaíocht glantacháin dhromchla sliseog {. Léiríonn próisis glantacháin fhliucha teorainneacha i gcáithníní nanascála agus i gcruinnithe scannáin a athdhíriú, mar aon le saincheisteanna amhail diúscairt dhramhaíola ceimiceacha agus ardchomhdhéanamh uisce a fhoráiltear {}}}}}}}}}}} Soláthraíonn an t -úsáid a bhaintear le diúscairt nuálaíoch agus soláthar an t -uisce agus an t -ardteicneolaíocht a bhíonn ag an nuálaíocht {}}}}}}. Maidir leis na fadhbanna seo trí airíonna fisiciceimiceacha uathúla sreabhán supercritical . a ghiaráil

Gnéithe de theicneolaíocht glantacháin sliseog supercritical

Tá taithí shaibhir ag ár gcuideachta i dteicneolaíocht agus trealamh sreabhach dé -ocsaíd charbóin supercritical, agus tá na tréithe seo a leanas ag an trealamh glantacháin sliseog supercritical a forbraíodh:

01/

Clamp Oscailt Tapa Claon Dearadh Struchtúr Groove, agus Struchtúr Glasála Bolt Lámhleabhar i gcomparáid le héasca le feidhmiú;

02/

Is féidir le dearadh neamhspleách glantacháin inmheánach a chomhlíonadh na riachtanais glantacháin de mhéideanna éagsúla sliseoga;

03/

Is féidir le dearadh struchtúr túir asaithe saincheaptha gníomhairí ceimiceacha a asatiú agus a aisghabháil;

04/

Ábhar ardchruach ard saincheaptha, chun saintréithe riachtanais ábhair leathsheoltóra a chomhlíonadh;

05/

Is féidir le dearadh scagaire gné, cruinneas ard scagacháin, chun cáithníní mín a sheachaint dochar a dhéanamh don sliseog;

06/

Rialú uathoibríoch iomlán .

Is féidir lenár gcuideachta dearadh agus táirgeadh trealaimh a shaincheapadh de réir thréithe custaiméirí .

Príomhpharaiméadair theicniúla

Níl .	ainmnigh	Paraiméadar
1	Trastomhas inmheánach an umair glantacháin	110mm go 400mm
2	Sonraíochtaí glantacháin wafer	4 ", 6", 8 "agus 12"
3	Uasbhrú oibre	40Mpa
4	Uastacht	150 céim
5	Áis	Cruach glan ard (EP)
6	Cruinneas scagacháin CO2	Nach lú ná 0.08um
7	Modh rialaithe	Go hiomlán uathoibríoch
8	Líon na sliseoga a phróiseáiltear	Níos mó ná 5

Comhpháirteanna lárnacha de threalamh glantacháin sliseog supercritical

Córas soláthair Co₂

Umar stórála {1. (le haghaidh leachtacha co₂)

{2. Caidéal ardbhrú (brúigh CO₂ go Stát Supercritical)

Téitheoir {3. (coinníonn sé teocht supercritical)

Seomra glantacháin

{1. frithsheasmhacht in aghaidh an bhrú (50 MPa nó níos airde)

{2. Sealbhóir sliseog (faigheann sliseoga i bhfeidhm)

{3. soic sreabhach (cinntíonn sé glanadh aonfhoirmeach)

Córas rialaithe teochta

Téamh {1. (coinníonn sé teocht supercritical)

{2. Fuarú (fuaraigh an córas tar éis an phróisis)

Córas aisghabhála

Deighilteoir {1. (scaradh co₂ agus ábhair shalaithe)

{2. aonad íonaithe (Athchúrsáil CO₂)

Córas rialaithe

Rialaíonn {1. brú, teocht agus ráta sreafa go huathoibríoch

Déanann 2. monatóireacht ar an bpróiseas glantacháin

Iarratais reatha i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Faoi láthair, tá trealamh glantacháin fleascáin supercritical tar éis iarratais tosaigh a fháil i sliseanna loighic ardleibhéil agus déantúsaíocht chuimhne . Tá tús curtha ag monaróirí leathsheoltóra domhanda ar nós TSMC agus Samsung le glacadh leis an teicneolaíocht seo i línte táirgthe, go príomha le haghaidh próiseas glantacháin criticiúil-ciseal .

Léiríonn teicneolaíocht glantacháin sliseog supercritical treo na bpróiseas glantacháin leathsheoltóra leathsheoltóra {. Fágann a fheidhmíocht glantacháin níos fearr agus sochair eacnamaíocha agus chomhshaoil shuntasacha go bhfuil sé fíor -riachtanach aghaidh a thabhairt ar na dúshláin glantacháin nanascála atá roimh thionscal na semiconductor, go mbeidh an t -aibíocht i dtrealamh agus go mbeidh an t -aibíocht i dtrealamh i bhfeidhm i bhfeabhsúchán i dtéarmaí i bhfeabhsúchán i dtéarmaí i dtéarmaí i dtéarmaí a bhfuil an t -aibíocht i bhfeabhas ann go mbeidh an t -eireaball ina bhfuil an t -eireaball ina bhfuil an t -eireaball a bheidh ann go mbeidh an t -eireaball ann go mbeidh an t -abhras ag dul i Gléasraí déantúsaíochta leathsheoltóra de réir mar a théann an teicneolaíocht ar aghaidh agus feabhsaíonn an t -éiceachóras tionsclaíoch .

Clibeanna Te: Trealamh glantacháin sliseog supercritical, an tSín, monaróirí, soláthróirí, monarcha, saincheaptha